PVD / Plasma

Vorteile dieser
HENZE Bornitrid Lösung

Abschirmrahmen und Abschirmleisten aus HeBoSint® Keramik von HENZE bieten Ihnen

HENZE bietet:

  • ein bewährtes Spektrum an HeBoSint®-Bornitrid-Typen für alle PVD-ARC-Anlagen
  • fachmännische Beratung zum Einsatz von HeBoSint® und HeBoCoat® in PVD- und Plasma-Anlagen
  • hochpräzise Fertigung nach Ihren Spezifikationen auf modernsten Maschinen und Anlagen in unserem Kemptener Bearbeitungszentrum - vom Prototypen bis zur Großserie
  • 100%ige In-house-Fertigung und
    Just-in-time-Lieferung
  • die Möglichkeit einer Entwicklungspartnerschaft für innovative Lösungen

Zuverlässige Abschirmung
von PVD-ARC-Anlagen
vor ungelenkten Elektronenstrahlen

Gefordert ist eine hohe Durchschlagsfestigkeit
der Abschirmrahmen

In PVD-Anlagen werden Dünnschichten durch Kondensation eines Materialdampfes auf einem Substrat abgeschieden. Beim ARC-Verfahren wird das Ausgangsmaterial, das sog. Target, durch einen ungeregelten Lichtbogen verdampft. Abschirmelemente aus HeBoSint® sorgen dafür, dass der Lichtbogen nur auf das Target auftrifft und keine Anlagenteile beschädigt.

Ein weiteres Problem: Unerwünschte Metallanhaftungen in allen PVD-Anlagen und Plasma-Anlagen.

Die Lösung mit HeBoSint® hat sich als Standard etabliert

Abschirmrahmen und Abschirmleisten aus HeBoSint® Bornitrid-Keramik von HENZE halten den Lichtbogen zuverlässig in den richtigen Grenzen. Der Hochtemperaturisolator HeBoSint® findet sich weltweit in nahezu allen PVD-Anlagen, die nach dem ARC-Verfahren arbeiten.

Inzwischen werden auch Unterbauten, die bisher aus Mica-Kompositen gefertigt wurden, durch solche aus dem alterungsbeständigeren HeBoSint® ersetzt.

Download : Technical Information Boron Nitride vs. Glass Bonded Mica in PVD.

Beschichtungen aus HeBoCoat® Bornitrid-Flüssigzubereitungen von HENZE ermöglichen das leichte Entfernen von Metallablagerungen in allen Plasma- und PVD-Anlagen.

 

Sie suchen nach einer technischen Lösung im Bereich PVD- und Plasma-Anlagen? Bitte sprechen Sie uns an.

Werkzeuge
Das PVD-ARC-Verfahren wird weltweit u. a. zur Beschichtung von Werkzeugen angewendet.
Abschirmrahmen
Abschirmrahmen aus HeBoSint® Bornitrid-Sinterkörpern in PVD-ARC-Anlagen haben sich weltweit durchgesetzt.